產品簡介

TSK521質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。TSK521系列氣體質量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點。本產品可以同時測量4種參數：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

技術特點

1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min（N2當量）或20kg/min(H2O當量)
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。
7、可直接與上位機連接，實現組網，便于操作。